中古 KARL SUSS / MICROTEC ACS 300 #9213835 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC ACS 300は、半導体材料の表面に複雑なパターンをエッチングするフォトレジスト装置です。これは、エッチングするパターンが外部から基板に直接露出されることを意味する「直接露出」システムの一種です。それはマイクロチップアセンブリおよび回路の研究で広く利用されています。このデバイスは、光学顕微鏡、真空供給ユニット、およびステッピングモータで構成されています。光学顕微鏡を使用してターゲット基板に画像を投影し、ステッピングモータがエッチングの深さと精度を制御します。真空供給機は基板の圧力を一定に保ち、エッチパラメータをできるだけ正確に保持します。MICROTEC ACS 300は、特別に設計された投影レンズを使用して、基板を90nm以下までパターニングすることができます。また、基板上のパターン位置の正確さを保証する自動アライメントツールを提供し、ユーザーは位置とフォーカスをリモートで調整することができます。この露出アセットは、幅広い基板と露出時間を提供し、正と負の両方のフォトレジストに使用できます。さらに、KARL SUSS ACS 300は、最大4つの基板を同時に処理することができ、スループットを向上させることができます。このモデルは、最高解像度1nmの優れた画像定義を生成します。また、危険な化学物質への暴露を防ぐための優れた安全機能が付属しています。この装置には、化学レベルが一定レベルを下回ると生産を停止するオートシャットオフ機能と、作業中の安全性を確保するガス監視機能が含まれています。要するに、ACS 300は半導体材料の複雑なパターンをパターン化するために設計された信頼性が高く、正確で効率的なフォトレジストシステムです。これは、露光時間と基板機能の広い範囲だけでなく、自動化されたアライメントと優れた安全機能を提供しています。これにより、マイクロチップアセンブリ、研究、および他の同様のプロジェクトに最適です。