中古 KARL SUSS / MICROTEC ACS 300 #9211226 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC ACS 300は、商用フォトリソグラフィ用途向けに設計された完全自動フォトレジスト装置です。このシステムは完全に統合されたプロセスモジュールを備えており、光学、電子、化学の3つの主要な技術を利用しています。MICROTEC ACS 300の光学モジュールは、正確な露光レベルとフォトマスクのアライメントを設定する目的で精密光学系を使用しています。このモジュールは、業界で最も短い波長であると同時に、高精度の柔軟なリソグラフィックパターンのための調整可能なレーザー出力および/または可変開口設定を提供することもできます。電子モジュールは、フォトマスクのパターン配置と監視を担当しています。これは、可能な限り最も正確なパターン配置のために、2つの独立した圧電ドライブシステムを備えています。このモジュールは、超高解像度デバイスの製造に興味があるKARL SUSS ACS 300のユーザーに特に有利です。化学モジュールは、フォトレジストと開発中の化学物質が追加された、投与室を卒業した化学タンクで構成されています。このモジュールには独自のUV照射ユニットも含まれており、空気中のタンパク質の形成を防ぎ、画像の歪みとサブミクロン分解能を排除します。ACS 300は、あらゆるタイプのリソグラフィ用途に最適な高度なフォトレジストマシンです。その完全に統合されたプロセスモジュールは、正確なパターン配置のための精密な光学ツールを提供し、その化学モジュールは、空気中のタンパク質の形成を防ぐUV照射ツールを備えています。KARL SUSS/MICROTEC ACS 300は、精密なリソグラフィによる超高解像度デバイスを必要とするユーザーに最適なソリューションです。