中古 KARL SUSS / MICROTEC ACS 300+ #9144010 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC ACS 300+フォトレジスト装置は、フォトリソグラフィに使用される精密機械です。最先端のマイクロステッピングモータを搭載し、フォトレジストの正確かつ再現性の高い露光を可能にします。このシステムは、手動またはコンピュータ制御の操作を使用しているため、生産および研究アプリケーションの両方に最適です。MICROTEC ACS 300+フォトレジストユニットは、最大200 x 400 mmの基板に対応できる大型の調整可能な加工面を備えています。このマシンにはユーザーフレンドリーなLCDディスプレイが装備されており、ビームサイズ、時間、レジスト設定など、プロセスに関するすべての関連情報が含まれています。ビーム径は6 µmから650 µmまで調整可能で、ズームポートによりさまざまなレジストパターンを作成できます。ビームサイズは、精密アライメントのために迅速かつ正確に調整することができます。KARL SUSS ACS 300+は、Scott Hardmanの特許取得済みのステインガラス反射技術を利用しています。これにより、基板全体に均一に露出し、歪みを最小限に抑えることができます。このツールには、UV-Aリフレクターと調整可能なシャドウホークコリメータが装備されています。これにより、露出プロセス中の資産は非常に正確で信頼性が高くなります。また、インプロセスコントロール（IPC）照明を搭載しており、マスターパターン形成後の露出補正が可能です。ACS 300+機器では、幅広いフォトマスク、フォトツール、レジスト材料を使用できます。このシステムは、AP型HSQ型（hexamethyldisilazane）、 AR型（allyloxyresorcinol）、 CP型（Cyanoacrylate）フォトレジストなどの標準的な低粘度レジストを使用するように設計されています。また、PMMA-タイプ（ポリメチルメタクリレート）、AZタイプ（アザビスフェノール）、MXタイプ（メルカプトキシレン）フォトレジストなどの高粘度フォトレジストにも対応しています。全体的にカールSUSS/MICROTEC ACS 300+フォトレジストユニットは、幅広い用途に対応した汎用性の高いマシンです。様々なフォトマスクに容易に対応し、材料に抵抗することができ、生産と研究の両方に適しています。その優れた汎用性、ユーザーフレンドリーな操作、および高精度機能により、あらゆるフォトリソグラフィープロジェクトに最適です。