中古 KARL SUSS / MICROTEC ACS 300 #9081962 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC ACS 300は、フォトリソグラフィを使用した基板の正確で一貫したパターニング用に設計されたフォトレジスト機器です。特にこのシステムは、ハイエンドのウェーハパターニングに特化しています。MICROTEC ACS 300は、200 mmまでの基板と8までの半導体ウェーハを露出することができる高度な機械であるOptiCAL露出ヘッドを備えています。この露出ヘッドは、高解像度の画像を確実に生成するためにSUSS Greentec還元光学系を備えています。さらに、スキャンレンズとレーザーオートフォーカス装置を搭載し、基板を撮影する際の精度と精度を確保しています。KARL SUSS ACS 300には、基板にライトパターンを適切に揃えるためのAutoEdgeアライナーも付属しています。このアライナーは、光が目的の領域に適切に集中していることを確認するのに役立ちます。これは、基板の微細なずれを検出するために使用される走査型電子顕微鏡（SEM）によって実現されます。このツールは、接触フォトリソグラフィと投影フォトリソグラフィの両方に使用できます。このタイプのフォトリソグラフィーは、レーザーなどの光源を利用して、光に敏感な材料に照射します。これは、パターンを作成するために基板の領域を公開します。この同じプロセスは、エッチング、リトグラフ、パターン基板にも使用できます。最後に、ACS 300フォトレジストアセットは、独自の自動クリーニングモデルを備えています。この装置は、ヒューマンエラーの低減、レンズ品質の維持、システムの最適な状態の維持に役立ちます。これは、数時間ごとに特殊な液体でレンズを原子的に洗浄してコーティングすることによって行われます。これにより、ユニットの解像度と精度を維持しながら、摩耗による劣化を防ぎます。結論として、KARL SUSS/MICROTEC ACS 300は、基板の正確で一貫したパターニングを提供する高度なフォトレジストマシンです。その特徴はまた接触および投影のフォトリソグラフィを可能にする。自動クリーニングツールは、資産の精度と分解能を維持するのに役立ちます。