中古 KARL SUSS / MICROTEC ACS 300 #293637223 を販売中

KARL SUSS / MICROTEC ACS 300
ID: 293637223
Developer system Chamber.
KARL SUSS/MICROTEC ACS 300フォトレジスト装置は、高密度集積回路(IC)の製造に使用される強力で信頼性の高いフォトリソグラフィーツールです。サブミクロン構造のICを製造するシステムです。業界最高のプロセス精度と歩留まりを提供します。ユニットの動作の中心には、出力が3つのビームに分割されたUVレーザーがあります。最初のビームは、レジストにICの空中画像を露出するために使用されます。2番目のビームは、可変焦点レンズで画像をフォーカスするために使用されます。最後に、プラットフォームの高度と暖房機能を制御するために、3番目の光ビームが使用されます。機械内で利用される高度な光学は精密であり、正確なリソグラフィ処理を可能にします。これには、0。5 μ mまでの高解像度で高度な高密度フォトレジスト層を露出する機能が含まれます。さらに、MICROTEC ACS 300は、時間ベース、ディスペンス、スピンベースのプロセスなど、さまざまなリソグラフィープロトコルを公開することができます。多くの機能がツールの優れたパフォーマンスに貢献します。プリント基板の露出パターンを利用したパターニングが可能な大容量PCBサイズ(400mm×350mm)です。さらに、アセット上のZ軸の精密位置決めにより、露出プロセスの正確な垂直制御が可能です。KARL SUSS ACS 300モデルには、メモリストレージとパラメータのリコールを可能にする強力なマイクロプロセッサ駆動イメージエンジンが搭載されているため、フォトレジストプロセスが簡素化されています。また、画像を簡単に編集できるグリッドパターンを設定できるため、パターン作成にかかる時間を最小限に抑えることができます。最後に、この機器は非常に信頼性が高く、MTBF (Mean Time Between Failures)は82,000時間を超えています。これにより、ユーザーはフォトリソグラフィのニーズを信頼し、システムに依存できるようになります。全体的に、ACS 300フォトレジストユニットは、サブミクロン機能を備えたICを製造するための優れたツールです。優れた光学系、高いプロセス精度、信頼性の高い性能、強力な画像エンジンを備えています。
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