中古 KARL SUSS / MICROTEC ACS 300 Gen2 #9383384 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC ACS 300 Gen2は、半導体産業で使用される高度なリソグラフィおよび薄膜蒸着プロセスに使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、さまざまな基板表面にフォトレジスト層をエッチングするために、光源やステッピングリソグラフィを含むすべての必要な機器を供給することができます。MICROTEC ACS 300 Gen2は、フォトレジスト層の作成プロセス全体を正確に制御し、信頼性の高い正確な結果を提供するように設計されているため、他のフォトレジストシステムと比較して高いレベルの性能と精度を提供します。ユニットは、高度な露光技術を備えたステッパーで構成されています。画像の完全なエッチングと転送を実現するために、ステッパーには150ミクロン×150ミクロンのフルフィールドイメージング機能と、自動露出モードでの± 3nmのオーバーレイ精度が装備されています。ステッパーはまた、最大20mw/cm²の強度と365nmから632nmまでの波長範囲を持っています。KARL SUSS ACS 300 Gen2は、基板やジオメトリに関係なく、フォトレジスト層の完璧なエッチングを保証するのに理想的な高スループットを提供するのに役立ちます高度なスキャン技術で設計されています。このマシンは、フォトレジスト層を正確にエッチング、クリーン、および比類のないレベルの精度で基板に転送することができます。これは、高被ばく線量、安定したステッパー移動、および完全に制御された温度と湿度レベルを組み合わせた最適化されたプロセスによって達成されます。ACS 300 Gen2のユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、操作が簡単になり、ユーザーは操作者からの最小限のガイダンスでプロセスを簡単にプログラムして監視することができます。さらに、カールサス/MICROTEC ACS 300 Gen2は、汚染を低減するための窒素ライン、および粉塵粒子を低減するための最適化されたスキャンマニピュレータを備えた、低メンテナンスと最大限の安全性のために設計されています。このツールはまた、最適な資産パフォーマンスを保証する自己診断機能で完全に自動化されています。MICROTEC ACS 300 Gen2は、幅広い温度範囲で確実に機能することが実証されており、さまざまなリソグラフィおよび蒸着アプリケーションに適しています。これらのすべての機能を搭載したKARL SUSS ACS 300 Gen2は、フォトレジスト層の精密エッチングと転送に最適なソリューションであり、高度なリソグラフィと蒸着プロセスのための強力なツールをユーザーに提供します。