中古 KARL SUSS / MICROTEC ACS 300 Gen2 #9356898 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC ACS 300 Gen2は、UVまたは電子ビームリソグラフィ用のフォトレジスト機器です。高精度、高速、反復可能な結果を得るように設計されたフル機能のシステムです。このユニットにはさまざまな技術が搭載されており、リソグラフィープロセスのすべての段階で優れた性能を提供することができます。機械の中心には精密なxyステージがあります。これは洗練されたツールで、リソグラフィー工程全体で基板を常に安全に保持します。精密なxyステージは、1µmの角度分解能を持ち、ナノメートルスケールの精度で整列パターンを生成することができます。このステージには電動真空アセットが装備されており、リソグラフィ中に基板がステージに対してしっかりと固定され、化学プロセスに優れた性能を発揮します。このモデルには、さまざまなイメージングオプティクスも装備されています。これにより、露光プロセス中の照明の均一な分布が可能になり、一貫した再現性のあるパターン処理が実現されます。装置にまた露出の間に迷光の入り口を制限するのに使用することができる調節可能なシャッターがあり、精密なlithographicプロセスを保障し、端の効果を減らします。このシステムは、負の作用と正の作用の両方を含む、さまざまな化学抵抗体を扱うことができます。可変エネルギー線量を使用することにより、レジストは正確かつ確実に所望のレベルにさらされることができます。また、ポストリソグラフィ洗浄時間を大幅に短縮するドライクリーニング技術を内蔵しています。MICROTEC ACS 300 Gen2フォトレジストマシンは、再現性に優れた高精度リソグラフィを提供するように設計されています。高精度のxyステージ、調節可能な光学系、および可変エネルギー線量機能により、ナノメートルスケールのリソグラフィに最適です。内蔵のドライクリーニング技術により、リソグラフィ後のクリーニングを最小限に抑えながら、異なる化学抵抗との幅広い互換性により、さまざまな用途に適しています。