中古 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9384472 を販売中

ID: 9384472
ウェーハサイズ: 8"
Coater / Developer system, 8" Glass damaged.
KARL SUSS/MICROTEC ACS 200は、半導体産業でデバイス製造に使用されるフォトレジスト機器です。非常に高精度な配置で高解像度のパターンを生成できる汎用性の高いシステムです。精密な位置決めとアライメントを実現する5軸モーションコントロールと、パターンを正確に形成するための高解像度レーザー制御を備えています。このマシンは、フォトレジスト素材をデバイスに正確に配置するために高解像度のマスクアライナーを使用しています。高性能レーザーソースを使用して、正確なパターンを作成します。その後、材料はUV光源にさらされ、フォトレジスト材料が硬化することができます。フォトレジストを硬化させた後、マスクアライナーを使用してパターンをデバイスに正確に配置できます。MICROTEC ACS200は、フォトレジスト素材の厚みやパターンの解像度を柔軟に調整することができます。このツールには、パターンの正確な特性評価を可能にする「反射顕微鏡」などの包括的な分析ツールも含まれています。さらに、直線、湾曲した円弧、形状の組み合わせなど、さまざまなパターン形状を生成することができます。KARL SUSS ACS-200フォトレジストモデルは、半導体業界の重要な要求に応えるように設計されており、比類のない精度と再現性を提供します。この装置の精密制御と高精度なパターン配置により、比類のない精度で非常に複雑なパターンを迅速かつ効率的に生成できます。高性能レーザー制御により、パターンの均一性が高く、解像度の変動が最小限に抑えられます。具体的には、システムは1ミクロン以上の解像度を達成することができます。MICROTEC ACS 200は、半導体業界の厳しい要求に応えるために設計された信頼性の高い非常に正確なフォトレジストユニットです。精密な制御、高解像度、再現性の高い精度により、汎用性が高く、さまざまなパターンを迅速かつ効率的に生成するために使用できます。
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