中古 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9365974 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC ACS 200は、半導体、マイクロエレクトロニクス、オプトエレクトロニクスデバイス製造における幅広いハイエンド用途向けに設計されたフォトレジスト機器です。半導体ウェーハを加工するための汎用性の高い低コストのツールであり、高いプロセス速度、正確な制御、優れた再現性で有名です。MICROTEC ACS200は、迅速なウェハローディングと剥離プロセスを容易にするように設計されています。ウエハホルダーにシングルウエハスピン開発ソリューションを組み込み、レジストストリップ、フォトレジストコート/開発、スパッタエッチングなどの加工工程で高精度かつ高速に応答する使いやすい5軸システムを備えています。ユニットには、2つの400W UVランプと2次元パターン露出が含まれており、解像度を向上させます。また、KARL SUSS ACS-200には、運転中の人員や機器の安全を最大限に確保するためのインターロックが内蔵されています。ユニット監視を強化するために、空気供給、循環、セキュリティシステムが追加されています。全体として、ACS-200は高速で信頼性の高い動作を目指して設計されており、オンボードハードウェアは幅広い処理タスクにおいて比類のない再現性を提供します。KARL SUSS ACS 200には、生産性を向上させ、機械の迅速なセットアップと操作を容易にするための便利なソフトウェアプログラムも含まれています。ソフトウェアは、ユーザーが自分のワークフローをプログラムし、制御することができ、それは優れた精度で様々なコンポーネントの膜厚、層プロファイル、および直径を評価します。さらに、このソフトウェアを使用すると、プロセスのバリエーションに関する洞察を得ることができ、ユーザーがプロセスパラメータを最適化するのに役立ちます。結論として、ACS 200は、さまざまな要求の厳しいプロセスのために作られた信頼性の高いフォトレジストツールです。幅広いウエハーパラメータに対して迅速かつ正確な開発と均一性を提供し、装置の最大限の活用を可能にします。また、包括的な安全機能と多数のソフトウェアオプションを備えており、生産性と精度を向上させます。