中古 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9355505 を販売中
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ID: 9355505
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2013
Coater / Developer system, 8"
Resist pumps
(6) Chillers
(4) Load ports
(2) Coater cups
(2) Developer cups
HMDS Module
(6) Hotplates
(3) Coolplates
(2) SANKYO SC5000 Robot controllers
Power rack
2013 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC ACS 200は、半導体デバイスのリソグラフィ研究、開発、製造のために設計された世界的に有名なフォトレジスト機器です。ステッピングモーターを搭載し、4。0mmのストローク範囲で0。5 µmの高精度を実現しています。このユニットには、デバイスの製造時間とコストを削減する2-Axisせん断工具も装備されています。このマシンは、ウェーハレベルとマスクレベルの両方のプロセスの生産性を最大化するように設計されています。また、様々な厚さやサイズの様々な基板をサポートすることができます。MICROTEC ACS200は、ウェーハまたはマスクレベルでフォトプロセスパラメータを決定する多数のパラメータを追跡するように設計されています。ピエゾオートフォーカス付きのウェーハチャックを搭載し、ウェーハの再現性を確保しています。このツールは、複数の露出源をサポートすることもできます。露光にはLEDまたはキセノン光源を使用し、光強度の安定化と最大465mm²のアクティブイメージサイズの可変露光バンドを備えています。また、オートシャッターとマスクステージを備えており、基板やマスク面へのレイアウトパターンの精度アライメントを確保しています。KARL SUSS ACS-200には、ユーザーフレンドリーな操作を提供する、直感的で高スループットソフトウェアコントローラが内蔵されています。コントローラは、マルチステップの反復可能な露出とプロセスを動作させることができます。これにより、ユーザーは柔軟な制御とデータ分析機能の恩恵を受けることができます。さらに、組み込みのプログラム可能なインターフェイスを使用して、追加のプロセス要件に応じてアセットを簡単にカスタマイズできます。このモデルはまた、最適なパフォーマンスを確保するための高品質の環境を提供します。動作中のリラクゼーションと振動を低減し、最適な結果を得るように設計されています。装置はまた装置の寿命を高めるためにフォトレジストの浸食を減らすのを助けます。カールサスACS 200は、シームレスなリソグラフィ機能をユーザーに提供するように設計された高度なフォトレジストシステムです。レイアウトパターンを基板またはマスクサーフェスに正確に配置し、効率的なデータ分析機能を提供するさまざまな機能を備えています。さらに、直感的な制御とインターフェイスにより、ユーザー固有の要件に合わせて簡単に操作およびカスタマイズできます。また、デバイスの寿命と製品歩留まりを最大化するために、振動やフォトレジストの浸食を低減するように設計されています。
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