中古 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9353323 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 9353323
ヴィンテージ: 2001
Coater / Developer system, parts machine
Missing parts:
Robot
Loadport
Hot plate
Chuck
PC
2001 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC ACS 200は、ウェハレベルのデバイスの製造に使用するために設計されたフォトレジストコーティングおよび開発装置です。ウエハなどの微細構造の表面に複雑な特徴を精密にエッチングすることで、先進的なマイクロ電子デバイスや光電子デバイスの開発に活用できます。ユニットは、露出ステーション、コーティングステーション、スピンリンスステーションの3つの主要な部分で構成されています。このマシンは、さまざまな開発者ソリューションを使用して、直接コート、焼き、操作を開発するために設計されています。露光ステーションは、ウエハ表面にフォトレジストを均一に硬化させるために紫外線（UV）光を使用しています。紫外線はレチクルを介してウェーハに集中し、エッチングが必要な部分を露出します。光の露出は、パーソナルコンピュータを介してプログラムされ、制御され、露出は任意のレベルに設定することができます。コーティングステーションは、ウェーハ表面にフォトレジスト材料を適用するために使用されます。フォトレジスト素材は、必要に応じて機械に取り付けられたカートリッジ内に含まれています。フォトレジストは、スピンコーティング技術を使用して均一なフィルムでウェーハ表面にコーティングされます。スピンリンスステーションは、ウェーハ表面から余分なフォトレジスト材料を除去するために使用されます。このウェーハはスピンリンスステーション内に配置され、MICROTEC D 810開発者やKARL SUSS D 820開発者などの化学溶液に水没します。この溶液は、ウェーハ表面のフォトレジスト材料と混合し、余分な材料を溶解させます。洗浄プロセスが完了すると、ウェーハを取り外して乾燥させることができます。MICROTEC ACS200は多目的で信頼性の高いツールであり、複雑なマイクロノスコープ機能を迅速かつ正確に生成できます。これは、信頼性と一貫したパフォーマンスを提供するように設計されており、さまざまな機能を備えているため、ユーザーはデバイスから最大の収率を達成できます。この資産は、マイクロエレクトロニクスおよび光電子デバイスの製造に広く採用されており、最先端技術の開発と製造において貴重なツールです。
まだレビューはありません