中古 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9267343 を販売中
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KARL SUSS/MICROTEC ACS 200は、主にリソグラフィ用途に使用されるフォトレジスト機器です。フォトレジストは、表面に微細なパターンを形成するための微細加工に使用される光感受性材料です。紫外線光源と組み合わせて使用され、選択した基板にパターンを化学的にエッチングします。MICROTEC ACS200は、高度なフォトリソグラフィ技術を活用し、パターンを基板に確実にエッチングします。このフォトリソグラフィー法は、KARL SUSS ACS-200とフォトリソグラフィープロセッサの両方を使用する2段階のプロセスです。まず、CARL SUSS ACS 200のプラットフォームに搭載され、UV露光源に露出します。露出したウェーハをフォトリソグラフィープロセッサに配置し、フォトレジストの層を適用します。これにより、パターンが露出したウェーハからフォトレジスト層に完全に転送されます。フォトレジスト層が配置されると、フォトレジストと基板との結合を強化するために、開発者がシステムに導入されます。開発者はさらにフォトレジストを硬化させ、フォトリソグラフィック解像度を向上させます。ACS 200はフッ素ドープスズ酸化物の使用に起因するパターン特徴の精密制御を提供します。このユニットはまた、プロセスの進捗状況を監視し、動作効率を向上させるための均一な環境スキャンマシンを提供します。このツールはまた、高精度の光学ナビゲーションアセットを提供しています。結論として、MICROTEC ACS 200は、パターンを基板にエッチングするために使用される信頼性と洗練されたフォトレジストモデルです。この装置は、高精度でフォトリソグラフィック分解能を向上させ、パターンの特徴を正確に制御し、プロセスを均一に監視し、作業効率を向上させる必要があるアプリケーションに最適です。
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