中古 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9213836 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 9213836
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2000
Coater / Developer system, 8"
Material Handling Unit (MHU):
GENMARK Gencobot 8Y robot
Robot end effectors
Robot cassette scanner
Auto-sizing cassette holder
Manual-sizing cassette holder
Universal centering station
Optical prealigner
Spin coat module:
GYRSET RC 8 Spin coater
Spent chemical monitoring scale
VULCAN Dispense pump
Virgin dispense pump
MILLIPORE Wafergard Gen-2 plus pump
MILLIPORE Wafergard Chemical dispense system
Timed pump
HCV Module:
Hot plate chamber
Cold plate chamber
Vapor prime chamber
Cassette module:
Auto-sizing cassette holder
Manual-sizing cassette holder
Filler module
Chemical dispense module
Aqueous based developer module
2000 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC ACS 200は、集積回路など半導体デバイスの製造におけるフォトレジスト材料のパターニングに使用されるフォトレジストシステムです。光源、レンズ、基板ステージの3つの主要コンポーネントから構成されています。光源はアルゴンイオンレーザーで、350-460nmの波長範囲のコヒーレント紫外（UV）光を生成します。レンズはこの光を基板に集中させ、望ましいパターンの2次元（2D）画像を作成します。基板ステージはフォトレジスト被覆基板を保持し、レーザービームは電子的にスキャンされてパターンを形成します。MICROTEC ACS200は、高エネルギー、高出力、単波長レーザー源により、露光の重複によるパターン変形を低減し、優れたフォトレジスト分解能と再現性を提供します。パターンサイズは1 μ mから10mmまで調整可能で、スポットサイズは0。1 μ mステップで変更できます。被曝時に基板ステージを傾けて入射ビームの角度を制御することができ、パターンのサイズを制御するために重要です。KARL SUSS ACS-200は、フォトレジストメガネ、ポリマーマイクロレンズ、エポキシベースのレジストなどのフォトレジスト材料タイプに適しています。また、露光時の基板の加熱を低減する冷却機能と、収差を最小限に抑え、サブミクロン分解能を実現する「ストーン」タイプのフォーカスレーザー調整機能を内蔵しています。さらに、KARL SUSS/MICROTEC ACS200はグラフィカルユーザーインターフェイスを使用してユーザーフレンドリーであり、コマンドラインまたはGUIを介して、電力、速度、露出時間などの露出パラメータを監視できます。KARL SUSS/MICROTEC ACS-200の柔軟性により、サブミクロン範囲で使用される2次元フォトマスクやコンタクトホールアレイなど、複数のアプリケーションを実行できます。全体的ACS200、マイクロエレクトロニクスデバイスの製造において優れた解像度と再現性を提供する使いやすいフォトレジストシステムです。堅牢で信頼性が高く、さまざまなフォトレジスト材料タイプに適しています。
まだレビューはありません