中古 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9207173 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC ACS 200は、薄膜デバイスの製造から厚いフォトレジストパターニングまで、さまざまな用途に対応するフォトレジスト機器です。このシステムは、マイクロメータサイトと1つの垂直ステージを使用して、ユーザーが8インチまでの基板を効果的に処理できるようにします。133 mm XY/チルトオートモータ座標ユニットを使用することで、正確で信頼性の高いパターニング動作を保証します。さらに、スピンチャックと機械の回転機能により、フォトレジストを基板に均一に適用することができます。MICROTEC ACS200には、ユーザーパフォーマンスを最適化するためのいくつかの機能が含まれています。このツールは、結晶石英プロセスチャンバーを備えており、成膜プロセスを厳密に制御し、焼成されていないレジストプロセスシステムで典型的な汚染のリスクを軽減します。ピボットドアは、4つの曲面ガラス設計で構成されており、ユーザーの全体的な安全性と視認性を向上させます。さらに、このフォトレジストアセットは強力なコントローラによって制御され、ユーザーの要件に合わせてカスタマイズしやすいようにプリロードされたさまざまなパターニングプログラムへのアクセスを提供します。KARL SUSS ACS-200は、負、中間、および正のレジスト開発を含む幅広い処理アプリケーションに使用できます。薄膜デバイスの真空蒸着；化学乾燥エッチング；アッシング処理；そして積み重ね可能な抵抗プロセス。モデルのカタログ化されたプロセスとレシピもコントローラにロードされ、ユーザーがツールとウェーハを調整するために必要な時間投資を排除します。また、全体のフォトレジストのセットアップは、腐食を防ぐために堅牢で、すべてのアルミニウム構造で構築され、防食性の黒いエポキシ塗料で適切にコーティングされています。最終的に、KARL SUSS/MICROTEC ACS200は、さまざまな精密処理能力をユーザーに提供する信頼性の高いフォトレジスト機器です。マイクロメーターステージとシングルステージは、あらゆるサイズの基板を処理するための精度を提供し、高度なコントローラは、ユーザーがさまざまなプログラムやプロセスにアクセスすることを可能にします。また、汚染リスクを低減し、安全で使いやすい環境を提供するように設計されています。