中古 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9180365 を販売中

MICROTEC/MICROTRON KARL SUSS/MICROTEC ACS 200は、半導体、オプトエレクトロニクスおよび関連アプリケーションでの使用に適したフォトレジスト機器です。光に敏感な素材であるフォトレジストを活用し、高精度な複雑なパターンを作り出します。エアブラシ式の露出ヘッドまたは従来の「ポイント&シュート」ヘッドを使用しています。露光ヘッドは、使用されているフォトレジスト材料に最適な光量を供給するために校正されます。フォトレジスト素材はウェーハ上に配置され、露出ヘッドは所定のパターンでウェーハ上を移動します。これにより、ユーザーの要望に応じてウェーハ上にフォトレジストパターンが作成されます。このマシンは、クローズドループ監視ツールを使用して、フォトレジストの過剰露出または過剰露出を検出します。誤った露出が検出された場合、アセットはフォトレジスト層が最適に露出されるように迅速な修正を行うことができます。このモデルでは、内部または外部の感光モニタを使用して光フラックスを監視することもできます。MICROTEC ACS200は、最大直径200mmのウェーハと最大8インチの正方形の基板を加工できます。フォトレジスト材料の複数の層を分配することができ、正確で正確な結果を得るのに役立ちます。また、スムーズで振動のない露出プロセスを提供するオートモーション体験も備えています。装置は使いやすく、セットアップ時間を最小限に抑える必要があります。それは非常に信頼性が高く、繰り返しの露出でも一貫した結果を提供します。さらに、このシステムは複数のフォトレジスト材料に対応しており、材料選択に関して柔軟に対応できます。最後に、KARL SUSS ACS-200は完全に自動化されており、包括的なトラブルシューティングガイドとリモート診断サポートが装備されているため、簡単なメンテナンスとトラブルシューティングが可能です。