中古 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #293756494 を販売中
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ID: 293756494
ウェーハサイズ: 4"-6"
ヴィンテージ: 2001
System, 4"-6"
Photoresist developer, 2"-8"
(2) Photoresist dispenses
Vapor prime hot plate
(5) Hot plates
(4) Chill plates
(2) Cassette elevators
(2) Standard robots
Wafer backside rinse
CE Marked
Cassette
2001 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC ACS 200は、基板の精密マスク作成とコーティング除去を可能にするフォトレジスト加工装置です。このシステムは、リソグラフィからMEMSまで、幅広い用途において高品質で細線を作成するための高速マスク処理が可能な、フル機能の自動ウェットプロセスユニットです。マシンは、マスクプロセッサ、マスククリーナー、開発者の3つの主要な部分で構成されています。MICROTEC ACS200のマスクプロセッサは、高精度なマスク加工のための均一な照明を提供します。さらに、マスキングプレートから残留化学物質や粒子を洗浄、除去、交換するために、MICROTEC D-acidウェットプロセスケミストリーが使用されています。このプロセスは、マスクの均一かつ効果的な処理を可能にします。KARL SUSS ACS-200のマスククリーナーは、レジストコーティング面の最高品質の洗浄を保証します。メモリプログラムされた制御ツールは、メンブレンフィルター技術を使用してマスク表面を精密に洗浄し、焼成および開発前に高い汚染物質の除去を保証します。KARL SUSS ACS200の開発者は、バックサイド（低エネルギー）開発、トップサイド（高エネルギー）開発、光の洪水（低エネルギー）、ケミカルバスフラッディング（高エネルギー）など、幅広い開発ステップを実行することができます。これにより、開発プロセスを正確に制御でき、各ステップに費やす時間を制御できます。ACS 200は、マイクロリソグラフィ、ウェットケミカル加工、マスク製造、プロトタイピングなどの用途に最適なソリューションです。このアセットにより、プロセスの再現性と開発プロセスの正確な制御が可能になります。KARL SUSS/MICROTEC ACS200は、高度な制御プログラムにより、さまざまなマスク製造プロセスを処理し、最高品質の画像を確実に作成できます。
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