中古 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #293619870 を販売中
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ID: 293619870
ヴィンテージ: 2013
(2) Coater / (2) Developer system
Includes:
Chiller / Canister tank
Loader / Unloader
2013 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC ACS 200は、フォトリソグラフィやウェハ露出など、幅広い用途に適したフォトレジスト機器です。このユニットを使用すると、紫外線の強度と露光時間の設定に簡単にアクセスして調整できます。MICROTEC ACS200は、露出チャンバー、ライトシールド、フィールドで実績のあるリニアステッピングモーターを内蔵した便利なデザインで、ユーザーはウェーハを正確に配置し、最大限の露出均一性と再現性を確保します。また、マスクの変更をなくすシャッターレス動作を実現するとともに、調整可能なランプ機構を採用し、垂直フォーカス調整を可能にしました。KARL SUSS ACS-200のパワーはMICROTECの高度なイメージングソフトウェアによってサポートされており、完全にプログラム可能な機能を備えた包括的な露光パラメータデータベースを提供します。この機能により、ACS 200は1回の実行で露出あたり最大5枚のマスクを印刷でき、複数のウェハサイズの露出設定を保存できます。KARL SUSS ACS200は、高度なウェーハ露出精度と高速露出率を実現する真空チャックも備えています。露出チャンバーは、さまざまな基板形状とサイズに適しており、ステージと露出制御用とシャッター制御用の2つの統合制御システムが装備されています。さらに、温度安定性は再現性のある結果を保証するのに役立ちます。KARL SUSS ACS 200は、高感度の結果を得るための狭い温度範囲を維持するために、統合された液体冷却ユニットを内蔵しています。要するに、MICROTEC ACS-200フォトレジストマシンは、高度な機能と信頼性を提供する高度で高性能なツールです。これにより、均一性、再現性、温度制御を維持しながら、さまざまな露出プロセスを正確に実行できます。
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