中古 KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 Gen3 #293771037 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC ACS 200 Gen3は、プロセスの最適化と柔軟性を高めるための高度な自動リソグラフィ機能を備えたフォトレジスト機器です。半導体デバイスの製造に必要なフォトレジスト材料の自動的かつ正確なアライメントと露出アライメントを可能にします。このユニットは、8軸精度の非常に正確な光学開発とアライメント機能を提供するように設計されています。自動化された制御は、露出や開発などのプロセスに統合され、手動入力の必要性を減らすことができます。画像ステッチ付きの自動レベリングオプションのような追加機能は、ナノスケールパターンの再現性を最適化するのに役立ちます。MICROTEC ACS 200 Gen3には、最大4つの300mmウェーハを保持できるウェーハローダーが内蔵されており、マルチバッチ処理が可能です。デュアルビームオプティクスによりウェーハハンドリングが改善され、露光時のバーンマークを低減します。また、開発中のパターンの複雑さに応じて調整できるプログラム可能なUV露光時間もあります。このマシンの露出アライメントエンジンは、他の同様のシステムと比較して非常に高度です。これには、3軸ウェーハステージと自動アライメント用の調整可能なレーザーツールが含まれます。また、自動チューニングアライメントアルゴリズムとアクティブ機能認識技術を備えており、アライメントを最適化し、処理時間を短縮します。この資産のための統合されたユーザーインターフェイスは非常に直感的でユーザーフレンドリーです。シンプルなグラフィカルユーザーインターフェイスと柔軟なワークフローエンジンを備えているため、オペレータはモデルを独自のカスタム設定にプログラミングできます。KARL SUSS ACS 200 Gen3は、スタンドアロンの容量で動作するか、クラスタ環境に統合することができます。これは、お客様がこの機器を1つまたは複数のシステム環境に簡単に導入できるようにするための貴重な機能です。マルチユニット環境では、スケーラビリティの向上を利用しながら、システム全体で簡単にパターンを転送することができ、複雑なナノスケール構造の開発がさらに強化されます。要約すると、ACS 200 Gen3は、プロセスの最適化を改善し、正確なアライメントとナノスケールパターン加工の露出を可能にする豊富な機能と機能を備えた高度なフォトレジストマシンです。このツールには、直感的なユーザーインターフェイスを備えた自動アセット、多軸露出アライメントエンジン、プログラム可能なUV露出時間、スタンドアロンまたは複数のモデル環境に統合する機能など、多くの魅力的な機能があります。