中古 KARL SUSS ACS 200 Plus #9300428 を販売中

カールサスACS 200 Plusは自動フォトレジスト加工装置です。フォトレジスト、金属、誘電体などの薄膜材料の化学的および機械的リフトオフを処理するために使用される堅牢なシステムです。このフォトレジストユニットは、シンプルでユーザーフレンドリーな操作で信頼性の高い反復可能な結果を得るために最適化された設計を備えています。この自動化されたマシンは、最大12個のウェーハを同時に処理することができ、均一な膜厚と優れた直線性を実現します。このツールは、費用対効果の高いフォトリソグラフィープロセスの鍵である再現性のある予測結果を備えた高度で正確なプロセス制御を提供します。このアセットは化学管理モデルを備えており、プロセス全体に化学濃度を記録することで安全で安全な動作を保証します。この装置には自動トッピングポンプも装備されており、正確に校正された濃度でクリーンな化学薬品で処理室を補充します。ACS 200 Plusに精密で、信頼できる洗浄のスパイク、また洗浄制御を提供する高度の洗浄の技術の最新があります。また、スピンプロセスを最適化するための高度な6チャンネルスピンコントローラを備えており、加速度と減速時間が異なる各チャネルの同時および独立した速度制御を備えています。フォトレジストシステムはまた、カスタム加速と減速でレシピの正確な最適化を可能にする高度なプログラマビリティを備えています。さらに、コントローラはウェーハにコミットする前にプロセスをシミュレートすることもでき、最適な性能と再現性を確保します。カールサスACS 200 Plusは、多くの革新的な機能を備えた信頼性の高い効率的なフォトレジストユニットです。精密スピンコーティング、プログラム可能な化学管理、高度な洗浄制御により、信頼性と再現性の高いリソグラフィック処理を可能にします。高精度のフォトリソグラフィープロセスを処理することができ、最先端の半導体製造にとって貴重なツールです。