中古 KAIJO SRT-300 #9127768 を販売中

KAIJO SRT-300は半導体業界で使用されるフォトレジスト機器です。フォトリソグラフィ環境で使用するように設計されています。特定の基板上に精密かつ高精度なパターン設計が可能です。フォトレジストシステムは、半導体、メモリチップ、およびエレクトロニクスの他の重要なコンポーネントを作成するために使用されます。フォトレジストユニットSRT-300、加工中の基板に正確なエッチング効果を生み出すために、集中した方向の光学エネルギー源を使用しています。機械はKrFのエキシマーレーザー、Iライン、また他のより高いエネルギー紫外線光源のようなさまざまなエッチング源を使用できます。また、各基板に複雑で詳細なデザインをエッチングまたはリソグラフィすることができるパターンデータを格納することもできます。KAIJO SRT-300は、各基板にパターンデータを正確に適用するために、マスクアライメントプロセスを使用します。高いアライメント精度と高いスループットを実現し、高度な精度でカスタマイズされた基板を素早く作成できます。SRT-300プロセスはまた正確な抵抗のプロフィール制御、またプロセス制御および予測を、実際にエッチング・プロセスの精密を磨くことを可能にします。さらに、ウェーハ間アライメントを再現し、最適な基板出力を確保するための優れたオーバーレイ登録を備えています。KAIJO SRT-300には、プロセスとそのオペレータを保護するための安全機能が組み込まれています。アライメント精度を検証する自動ゼロメカニズム、余分な残留物を簡単に処分するためのシリンジにアクセスしたリンスステーション、プロセス室から小さな汚染物質の破片を取り除くためのデュアルステージフィルタ、期待される出力品質を保護するためのシルト保護および常識ベースの安全操作などが含まれています。全体として、SRT-300は半導体製造プロセスにおけるフォトレジストシステムの最先端の技術を提供しています。最適なウエハと基板品質を実現する高精度エッチングを提供します。この資産はまた、エッチング処理が正確かつ不要な結果なしに行われることを確認するための保護および安全機能を提供します。