中古 KAIJO RT-985T #9134882 を販売中

KAIJO RT-985Tは、半導体マイクロストラクチャーの製造に特化したフォトレジスト機器です。材料の非線形エネルギー吸収特性を利用して、紫外線に反応して基板上の電気マスキング層を選択的に生成できることを基本的な前提として動作します。RT-985Tは、439nmのDeep UVレーザー光源を中心に、薄いフォトレジスト素材の露光に使用しています。紫外線がフォトレジスト層に吸収されると、化学反応が起こり、基板上に非導電性の架橋ポリマー・ネットワークが分散します。この完全に自動化されたシステムは、デバイスを損なう可能性のある望ましくない加熱なしで、典型的なフォトレジスト層を正確に露出することができます。また、KAIJO RT-985Tユニットは、独立したIRソースとシャッター起動機能も備えています。シャッター操作中のIR放射は、露出の瞬間に一貫した温度を維持するのに役立ちます。高度なソフトウェアを使用して、マシンオペレータは、最適な性能のための露光線量の効率的な計算とナノメートルスケールで基板のパターンを制御することができます。この機能はさらにK-GATEツールキットを介して管理され、基板上の照射領域を同時に制御して非常に正確な設計を行うことができます。RT-985Tツールによって提供される注目すべき利便性は、ジョブリコール機能です。これにより、オペレータは関連付けられた保存ファイルからジョブを簡単に呼び出し、数分で生産を開始できます。生産時間の短縮は、組み込みバッファ管理によってさらに補完され、アセットは利用できないマスクのステージングを事前に予測することができます。KAIJO RT-985Tは、半導体マイクロストラクチャーの高精度生産に最適な、信頼性の高いフル機能のフォトレジストモデルです。