中古 KAIJO RT-974T #9149821 を販売中

KAIJO RT-974T Photoresist Equipmentは、Photoresistの開発と加工のための汎用性と信頼性の高いツールです。集積回路製造、光ディスクダイシング、MEMS製造など、幅広い用途に優れた性能を提供します。高性能露光装置、光開発装置、フォトレジスト加工室で構成されています。RT-974Tの露光ユニットはステップアンドリピートユニットで、正確な高出力レーザー光源を基板に正確に画像を投影することができます。洗練されたオートアライメント制御システムを搭載し、セットアップ時間を短縮し、手動調整の必要性を最小限に抑えます。また、0。1 μ mまでの解像度で高速・高精度、シングルレンズシステムよりも高性能なマルチレンズを搭載しています。ツールの写真開発者ユニットは、信じられないほど効率的で信頼性の高い容量を持っています。その開発者は、コンポーネントのパフォーマンスのばらつきによりオペレータのエラーやエラーを減らすように設計されています。このユニットは、マイクロプロセッサ制御の化学供給資産を内蔵しており、処理を成功させるために必要な化学物質の正確な量を確実に供給します。KAIJO RT-974Tのフォトレジスト加工室は、精密な温度制御と湿度管理を特徴とするほか、空気パージと真空デリバリーモデルを内蔵しています。また、高速サイクルタイムと低い機器圧力伝導を可能にし、より効率的な電力処理を可能にします。さらに、ウェーハ安定化システムを搭載しているため、ウェーハウォブリングやフローモーションを防止しながら、最適な温度でレジスト性能を向上させることができます。RT-974Tフォトレジストシステムは、信頼性の高い効果的なフォトレジスト処理プラットフォームを提供します。その耐久性と汎用性の高いシステムは、高い歩留まりと精度を確保し、幅広い用途で非常に効果的です。自動化機能により、オペレータのエラーを低減し、スループットを向上させ、高度な設計により、処理品質と信頼性を向上させます。その高度な機能と効率的な性能により、ユニットは、フォトレジストの製造と処理のための最高の要求を満たすことが確実です。