中古 KAIJO RT-844A #9134688 を販売中

KAIJO RT-844Aフォトレジスト装置は、半導体基板にフォトレジストをコーティングするために使用される精密で自動化されたシステムです。このユニットは、さまざまなフォトレジストとの使用に適しています。フォトリソグラフィー、薄膜成膜、エッチング、パターン伝達、誘電成膜などの用途に適しています。このマシンは、4段チャンバー、スピンコーター、2つのスピンスタック、および輸送ツールで構成されています。チャンバーの第1段である前処理段階には、フォトレジストが品質を最大限に高めるための調整機構が装備されています。また、静的なビルドアップを低減するための換気アセットも含まれています。第2段階はフォトレジスト塗装室です。このチャンバーには、スピンコーター、2つのスピンスタック、およびターボポンプがあります。スピンコーターはスピンの角度と速度を制御し、さまざまなフォトレジスト式に簡単に調整できます。2つのスピンスタックは、2つのスピンコーターを同時にサポートし、サイクル時間を短縮してスループットを向上させます。ターボポンプはすぐに部屋を避難させ、コーティングが均一で均一であることを保障します。第3段階は露出室です。高解像度ディスプレイを搭載しており、露出を精密に調整できます。また、ビームプロファイルモニターを備えており、望ましい露光レベルに到達するのに役立ちます。露出チャンバーにはマルチパターンマスクアライナーも備えており、迅速かつ正確なアライメントが可能です。第4段階はポスト露出ベーキングチャンバーです。このチャンバーは、フォトレジストが最適な特性に達することを確実にするために、フォトレジストを加熱するために使用されます。温度制御ヒーターは、フォトレジストが所望のレベルに加熱されることを保証します。この装置には、フォトレジストの焼き上がり時間を制御するタイマーもあり、正確で一貫した結果を得ることができます。全体的RT-844A、フォトレジストシステムは信頼性の高い正確なユニットであり、さまざまなフォトレジストアプリケーションに使用できます。4段階のチャンバー、スピンコーター、2つのスピンスタック、露出チャンバーにより、マシンは優れた一貫性のある結果を提供します。フォトリソグラフィ、薄膜成膜、エッチング、パターン伝達、誘電体成膜に最適です。