中古 KAIJO RT-824T-1 #9134881 を販売中

KAIJO RT-824T-1 Photoresist Coating Equipmentは、さまざまな寸法の基板に高精度の薄膜蒸着を適用するように設計された完全自動スピンコーターシステムです。そのアプリケーションは、フォトレジストのスピンコーティングに適しています。KAIJOフォトレジストコーティングユニットは、高粘度と低粘度の両方の材料で均一な薄膜蒸着を提供する革新的な2段ディスペンスプロセスを備えています。ディスペンスステージ、スピンコーティングステージ、ポストディスペンスステージを備えており、材料の加工を容易かつ効率的に行うことができます。ディスペンスステージは、ノズル設計を使用して均一な薄膜蒸着を提供します。これは、負と正の感光性レジスト製剤のような異なるタイプのフォトレジスト材料のために最適に設計されています。ディスペンスステージは、プログラマブルロジックコントローラ（PLC）を介して制御および監視されるパルススプレー機構を備えています。これにより、精密かつ反復可能な薄膜堆積が可能になります。スピンコーティングステージは、4つのクリーンでメンテナンスフリーな制御チャネルで構成されたドライブスピンドルを備えています。均一な薄膜成膜に不可欠なバランスの取れたスピンを保証します。さらに、ステップモータードライブは回転速度の再現性を保証し、薄膜パラメータ設定をより大きな制御します。ポストディスペンスステージは、垂直と水平の両方を移動するユニークな光学基板ホルダーを提供します。この機能により、オペレータは保持力とパターンアライメントを調整することができ、オペレータにさらなる制御と柔軟性を提供します。結論として、RT-824T-1フォトレジストコーティングツールは、フォトレジスト薄膜堆積のための理想的な費用対効果の高い効率的なソリューションです。2段階のディスペンスプロセスと調整可能なポストディスペンスステージにより、さまざまな薄膜蒸着ニーズを実現するための柔軟なプラットフォームとなっています。KAIJOフォトレジストコーティングアセットは高精度で使いやすく、異なる寸法の基板に高精度の薄膜堆積物を適用することができます。