中古 KAIJO RT-449 #293634121 を販売中
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KAIJO RT-449は、幅広いマイクロエレクトロニクスおよび半導体デバイス製造アプリケーション向けに設計された高精度フォトレジスト装置です。このシステムは、高解像度、高均一性、および露光時間が非常に低いことが特徴です。RT-449は、高解像度を実現するために特殊な光源と露光ジオメトリを使用しています。この源は320-370nmの範囲の紫外線を、500mJ/cm2までの高いエネルギー密度の作り出すことができる高出力レーザーのダイオードです。このユニットには、x、 y、 z軸制御マスクホルダーと連続供給マスクが装備されているマスクアライナーも装備されています。KAIJO RT-449フォトレジストマシンには、露出時間やスキャンレートなどの露出パラメータをプログラムできる制御ツールが搭載されています。このアセットには、レーザーダイオードとマスクホルダーを制御するためのマイクロコンピュータと、暴露時に酸素を含まない重要な大気を維持するための窒素パージモデルも搭載されています。ワーク全体で高い均一性を確保するために、RT-449は高度なイメージング装置で設計されています。このシステムは、基板上の各位置の露光時間、光強度、均一性を測定できる強力な画像処理アルゴリズムを利用しています。また、高速スキャンミラーを搭載しており、高い信頼性で正確な画像処理を繰り返すことができます。KAIJO RT-449は、露光時間、波長、温度、圧力など、幅広いプロセスパラメータも提供しています。これは、結果の品質を最適化するのに役立ちます。さらに、このマシンには汚染制御ツールが装備されており、露出環境を清潔に保ち、ほこりや粒子を排除するのに役立ちます。RT-449は、ファインライン生産、3Dパターニング、IC試験などの高精度フォトリソグラフィ用途に理想的なツールを提供します。KAIJO RT-449フォトレジストモデルは、高い精度と高度なイメージング技術により、マイクロエレクトロニクスおよび半導体デバイス製造業界における高品質な結果を実現するために不可欠なツールです。
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