中古 JEOL JFC-1600 #9261178 を販売中

JEOL JFC-1600は、光と紫外線を組み合わせて基板上に微細な構造を生成するフォトレジスト装置です。高精度のマスクアライナーを使用し、あらかじめパターン化された露出前のフォトレジストマスクを基板に正確に配置することができます。マスクアライナーのステージ分解能は200ミクロンで、高精度のリソグラフィパターニングが可能です。JEOL JFC 1600は、iライン紫外線を露光に利用しています。この光は、感光基板層を露出させるために使用され、フォトレジストと化学反応を起こして耐久性のあるパターンを形成します。露出された基質の層の露出エネルギーそして光学プロフィールを制御するためには、ライトの強度は調節可能です。軽い露出に加えて、JFC-1600はまたエッチングプロセスを提供します。エッチングプロセスは、制御された環境でプラズマを使用して、基板上の望ましいパターンを生成します。プラズマエッチング処理により、高精度でクリーンな表面を確保し、フォトレジストフィルムの残留物を排除します。JFC 1600は、目的のパターンを素早く正確に基板に配置するために、トラック配置システムを利用しています。このユニットは、露出した基板を正確に配置して整列させるために、リソグラフィックパターニングプロセスを簡素化します。最後に、JEOL JFC-1600は、高温基板接合を可能にする加熱機も提供しています。このプロセスは、望ましいパターンが基板層に確実に付着するようにするために非常に重要です。また、高温接着プロセスにより、基板表面へのパターンの接着性が向上します。JEOL JFC 1600は、高効率で正確なフォトレジストツールで、パターニングプロセスを正確に制御します。このデバイスは、タイトな公差内で細かいリソグラフィックパターンを生成することができ、希望するパターンが基板に確実に付着するようにします。