中古 JEOL JFC-1600 #293818828 を販売中
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JEOL JFC-1600は、高品質のリソグラフィおよびパターニング用途向けに設計されたフォトレジスト機器です。40nmの解像度パターニングが可能なフルサイズシステムです。シングルマスクとマルチマスクの露出に適したユニットで、高度なJEOL専用TTL (transmission+reflection)アライメント方式を採用しています。同一基板上のパターン化された層の正確なアライメントを可能にする画像層の反転技術を搭載しています。JEOL JFC 1600は、直径200mmまでのデバイス基板を取り扱うことができ、従来のリソグラフィーシステムよりもフルサイズのパターンではるかに高速です。この機械は高度な光学カラムを使用しており、40ナノメートル(nm)までの高解像度と0。85の均一な平均ガンマを提供し、単一および複数のマスク露出、および複数のパターンのアライメントに最適です。また、最大12。735°のスキャン角度と最大31。5°/秒のスキャン速度を提供します。さらに、JFC-1600には独自の回転マルチレベルパターニングツールが装備されており、パターンの多様性と精度の範囲を広げることができます。JFC 1600フォトレジスト資産は、迅速なセットアップと便利な操作を可能にする信頼性が高く、使いやすいモデル制御ソフトウェアによって供給されています。また、要求の厳しいタスクの最高要件を満たすことができる幅広い基板に対応するコンポーネントと材料のライブラリも含まれています。この装置は高精度で高速な自動アライメント機能を備えているため、複雑なリソグラフィ作業に最適です。このソフトウェアは、マスクパターンのずれを自動的に補正する機能を備えており、ユーザーはより高い精度でパターンを迅速かつ正確に生成することができます。最後に、JEOL JFC-1600は、JEOLの世界クラスのカスタマーサービスとテクニカルサポートサービスに支えられ、システムの汎用性とパフォーマンスを最大限に活用するのに役立ちます。印象的な性能と堅牢な機能を備えたJEOL JFC 1600フォトレジストユニットは、最高品質のリソグラフィーとパターニングソリューションを要求する人に最適なソリューションです。
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