中古 JEOL JFC-1600 #293621202 を販売中

JEOL JFC-1600は半導体製造用に設計された先進的なフォトレジスト装置です。半導体チップ上に精密部品や機能を形成するために使用される製造プロセスの重要な部分です。このフォトレジストシステムは、特定のパターンでウェーハ表面を露出するための高度にコリメートされた光を提供する露光源を備えています。この光源は正確に設定可能で、正確な光の露出量を確保して、一貫したパターン精度を実現します。この露出源は、電動ウェーハステージに裏打ちされており、正確な配置と正確な露出時間で複数のウェーハ露出を可能にします。この露出単位は調節可能な点サイズの高度の可変的な焦点レンズおよび焦点、色収差およびゆがみの精密な制御のための高度の可変的な焦点要素を使用します。直径8インチまでの半導体ウェーハに対応し、露光部間の間隔を調整できます。露出部位のサイズは調節可能で、500ミクロンから70ミクロンまで及ぶことができます。露出源は最大4つの調整可能な露出源ラインを備えており、マルチステップ露出を可能にします。効率的な操作と理解のために、このツールには、内部LCDディスプレイで強調表示された露出設定と操作のビジュアルが含まれています。これにより、効率的なパラメータ調整、管理、監視が可能になります。アセットもIP保護されており、リモート監視と管理のためにローカルイーサネット環境に接続することができます。安全のために、このモデルには、機器が使用されているときに作動する安全ガードとカバーが含まれています。ウェーハ表面の過剰露出を防止する自動露出遮断機能を搭載しています。最後に、ウェーハ表面の汚染を低減する専用のクリーンルーム空調機を搭載しています。このフォトレジストツールの高性能と効率は、ほぼすべての半導体生産アプリケーションに最適なツールです。これは、高精度の半導体チップを製造するために探している人のための費用対効果と信頼性の高いオプションです。