中古 JEOL JFC-1600 #293597805 を販売中

JEOL JFC-1600フォトレジスト装置は、高度な半導体材料を精密に処理するために設計された多機能の先進的な装置です。これは、集積回路、ナノメディシン、DNAシーケンシングなどの製造に使用されます。このシステムはコンパクトで、リソグラフィやエッチングなどの高度な半導体プロセスの開発および研究開発に最適です。プロセスの再現性とスループットの最適化を目的として設計されています。このユニットは、最小ダウンタイムでより正確なプロセスを可能にするように設計されています。このマシンには、フルオートメーションシステムと、プロセスフィードバック用のセルフマネージドモニタリングツールが装備されています。高精度のサーボモータ駆動ウェハステージとインクジェットプリントヘッドの動きを備え、迅速かつ正確なプロセス結果を提供します。これは、カスタム開発されたソフトウェアとコントローラデバイスを装備することができます。このアセットは、処理中の材料の欠陥を検出するためにカスタマイズできる最先端のビジョンモデルを備えています。光学ビジョン装置はまた、さまざまなサブミリメートル機能の監視を可能にします。JEOL JFC 1600フォトレジストシステムは、高出力LEDとハロゲンランプを搭載し、露出を高速化し、解像度を向上させます。その高度な多波長ビームスキャン技術は、正確なパラメーター制御を可能にします。また、温度管理ユニットは、プロセスの再現性を向上させるための超精密温度制御のために設計されています。また、オンザフライの品質管理のためのin-situイメージングおよび検査機能も備えています。これは、高品質のプロセス管理のための統計的プロセス制御ツールと統合されています。JFC-1600フォトレジスト資産は、高度な半導体材料を処理するための効率的で信頼性の高いプラットフォームです。高度な半導体プロセス技術の研究開発に最適です。洗練されたオートメーションモデルと超精密なプロセス管理機能により、精密半導体技術の開発に最適です。