中古 JEOL 5000 #9281572 を販売中

JEOL 5000は、半導体集積回路の製造に使用されるフォトレジスト機器の一種です。ポリメチルメタクリレート、二酸化ケイ素、ポリシリコンなど、様々なフォトレジスト材料の薄膜にパターンをエッチングするために使用される高分解能、高精度マスクレスリソグラフィーシステムです。このユニットは、直径200mmから450mmまでのさまざまなウエハサイズを作成するために使用できます。5000フォトレジストマシンの主な目的は、パターンを半導体薄膜にエッチングすることです。これを行うために、このツールは、フォトレジスト材料に事前にプログラムされたパターンを描画するために、コンピュータソフトウェアによって変調された光の集中ビームを利用します。パターン精度と信頼性を確保するために、このマシンには11軸の電動ステージが装備されており、ビーム軌道と位置を正確に制御できます。独立して操作する2つの対物レンズは、解像度の向上に使用できます。このアセットには、高度な色分離アルゴリズムを含むさまざまな照明パターンと計算ツールが装備されており、エッチング処理中に希望のパターンが正確に印刷されるようにしています。JEOL 5000は、金属や磁気薄膜パターンに特化した機能も備えており、アライメントとチェック機能を備えています。また、パターンや機能の複数の層を制御することができます。5000は、マイクロエレクトロニクスデバイス構造の高精度リソグラフィーツールとしても機能します。マスクアライメントモデルとマスクローディング装置を搭載し、数秒でパターン転送が完了します。このシステムはまた、80°Cから450°Cまでの基板温度範囲で動作することができ、低温から高温まで正確な温度を確保するための強力なベーキングプログラムを備えています。JEOL 5000は、半導体集積回路製造のための効率的で信頼性の高い高精度フォトレジストユニットです。その微細加工とアライメント機能は、その電動ステージと組み合わせて、機械が精度と信頼性の結果を提供することができます。メモリーからプロセッサまで、幅広い集積回路部品の製造に使用され、さまざまなサイズとパッケージング形式の製造に使用できます。