中古 JAS JAS-591TM #9360825 を販売中

JAS JAS-591TM Photoresist Equipmentは、ウェハレベル製造の工業生産に使用されるフォトレジスト材料の開発と特性評価のために設計された特殊な機器です。高速ロボットアームユニットを中心に、各種フォトレジスト材料を基板ウエハ表面に精密に適用することが可能です。このアームは、高精度のステージアセンブリと、すべての3次元で制御および調整できるマイクロポジショニングプラットフォームを備えています。ロボットアームに加えて、JAS-591TMはビーム発生器、高輝度レーザー、電極、真空源など多くの部品で構成されています。ビームジェネレータは、レーザーと電極と連携して、基板ウェーハ上の所定のパターンをエッチングします。レーザーは強度で調節可能、フォトレジストの開発の精密な制御を可能にします。一方、真空源は、フォトレジスト開発中にチャンバー内に一定の低圧環境を提供するために使用されます。このマシンには、温度モニター、オシロスコープ、ヒーター、その他のさまざまなセンサーなど、多数の診断および表示機器も付属しています。温度モニターは、フォトレジスト材料が開発プロセス中に最適な粘度を維持することを保証し、オシロスコープは、基板ウェハ上で作成されたフォトレジストパターンの画像を測定して表示します。一方、ヒーターはフォトレジストの開発プロセスを通じて、チャンバーを均一な温度に保ちます。最後に、このツールはデジタルインターフェイスを使用して、フォトレジストの開発プロセスを簡単かつ複雑に制御できます。このインターフェイスを使用すると、レーザー出力、パターンサイズ、層の厚さなど、さまざまなパラメータを選択できます。これらのパラメータを個別に調整して、複雑なフォトレジストパターンを作成することができます。要するに、JAS JAS-591TM Photoresist Assetは、ウェハレベルの製造材料の工業生産にとって貴重なツールです。高精度のロボットアーム、調節可能なレーザー、およびデジタルインターフェースの組み合わせにより、フォトレジストパターンを高精度かつ高精度に開発できます。これらのコンポーネントを組み合わせることで、集積回路やその他の微細加工プロセスの作成において非常に汎用性が高く効果的なツールとなります。