中古 IZOVAC Heliosiz #9395189 を販売中

IZOVAC Heliosizは、非常に正確で一貫した反復可能なマイクロコーティング結果を提供するように設計された高度なフォトレジスト機器です。これにより、さまざまな基板上の複雑なコーティングの精度と再現性が向上します。このシステムは、すべてのコーティングパラメータの完全に自動化された制御と統合された計測を組み合わせており、迅速なプロセスフィードバックと最適化を可能にします。このプロセスは、電子ビーム（EB）または深紫外線（DUV）光露光を使用して基板上にレジスト層を形成することから始まります。露出したレジスト層は、希望する表面パターンを明らかにするために緩衝水系開発ソリューションを使用して開発されます。ポスト露出ベーキングとポスト開発ベーキングオプションの範囲は、最適なフィルム形成を保証します。自動化されたソフトウェアコントロールユニットにより、基板加熱、露出、加工パラメータを簡単に調整できます。また、プロセス全体で優れたデータ整合性とトレーサビリティを提供します。バッチ間の均一性を確保するため、このマシンには、すべてのプロセスパラメータの自動サンプリングと自動チューニングが含まれています。Heliosizは、特殊なルーメンライン技術を使用して露出ヘッドの正確な位置決めを行い、レジストレイヤーのオーバーラップの可能性を低減します。正確な露出と露出時間は、高レベルの粉塵汚染などのさまざまな課題を考慮して変更することができます。また、必要に応じてポスト露出ベーキングを提供し、より繊細なレジスト層の過剰露出を防ぎます。IZOVAC Heliosizは、特殊な染料コーティング機能を使用して、デバイスにさまざまなコーティングを提供します。この機能は、繊細な特徴を保護し、レジスト材料の接着性を高め、敏感な活性材料の堆積を容易にするために使用することができます。工具によって行われるあらゆるコーティングの究極の性能は、適切な計測ツールで評価することができます。Heliosizは汎用性が高く、強力で精密なフォトレジスト資産であり、幅広い基板に高い反復性のコーティング結果を提供します。自動化されたプロセス制御とプロセス最適化により、すべてのプロセスパラメータを厳密に制御でき、計測によってモデルのフィードバックを迅速に調整できます。これは、生産環境で証明されている一貫したプロセスの基礎を提供します。