中古 IZOVAC Aurora G5 #9395190 を販売中
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ID: 9395190
Single side metal coater
Type: Vertical
Coating method: Sputter
Substrate: GaAs Wafer, (80) Substrates / Carriage
(2) Carriages
Membrane: (6) Metal layers
Tact time: 336 sec
Carrier moving speed: 0.245 m/min
Cathode distance: ≥1000 mm
Coating thickness: 120 mm ≤±5%
Auto loading / Unloading (Portal type robot, TBD)
Substrate uncoated area: <2 mm
RGA PC, protection valve, ports
Substrate size: Square with rounded edges
Maximum: 108.5 mm x 108.5±0.5 mm
Minimum: 106 mm x 106 mm
Corner radius: 4.5±0.5 mm
Edge exclusion: 2 mm around
Thickness range: 0.55 mm - 0.65 mm
Substrate coating area: 102 mm x 102 mm
Acceptable temperature: ≤250°C
Etching:
Ion beam source (Linear)
Remove 10 A - 50 A ≤±5% across each pallet
Magnetrons:
DC Planar magnetrons (MSS)
(11) DC Rotary magnetrons (CMSS)
Pumps:
Dry mechanical pumps
Turbo molecular pumps
Cryogenic pumps.
IZOVAC Aurora G5は、さまざまな顕微鏡アプリケーションで信頼性の高い正確な結果を提供するように設計された最先端のフォトレジスト機器です。フォトレジストシステムは、ガラス、シリコン、その他の材料など、さまざまな表面に高精度で顕微鏡の構造を作成するために使用されます。Aurora G5システムの改良された設計は、標準的なフォトレジストシステムよりも高い精度を可能にします。このユニットは、鋭いコーナーを持つ機能を生成することができ、生成された機能の角度は、アークの数分以内に正確に制御することができます。IZOVAC Aurora G5の特徴サイズの範囲は1ミクロンから40ミクロンまで調節することができます。高度なソフトウェアパッケージにより、円、螺旋、星などの複雑な形状のパターンを3次元でも作成できます。Aurora G5マシンは高度に自動化されており、効率的で無人生産を可能にします。プリプログラマブルツールは、非常に詳細で反復可能なパターンを生成し、アンチグレアプロテクションやビームモニターのキャリブレーションなどの機能により、フォトマスクが安定しており、光が期待どおりに届きます。G5アセットには、より明るく正確なUVソースも改善されています。これにより、フォトレジストのより高速かつ正確な露光が可能となり、従来のフォトレジストシステムでは不可能だったミクロンスケールのパターンを作成することができます。UV露出源を調整して、より均一なカバレッジを生成し、さらに複雑な機能を開発することができます。IZOVAC Aurora G5には、高度なイメージングモデルも搭載されています。これにより、フォトレジストによって作成された機能の迅速な検査と評価が可能になります。全体的に、Aurora G5フォトレジスト装置は速度と精度に最適化されており、高度に自動化され、ユーザーフレンドリーです。さまざまな顕微鏡アプリケーションに精密で反復可能な結果を提供し、鋭角と高機能密度の複雑なパターンを作成するための信頼できるツールです。
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