中古 IZOVAC AOC-M #9249484 を販売中

IZOVAC AOC-M
製造業者
IZOVAC
モデル
AOC-M
ID: 9249484
Optical coater Type: PECVD Drum.
IZOVAC AOC-Mは、マイクロエレクトロニクス材料の選択的エッチングのために特別に設計された高品質のフォトレジストシステムです。マイクロサーキット製造の業界標準であり、ウェットエッチング、リフトオフ、ケミカルエッチング、蒸気エッチング、スパッタリングなどの幅広いプロセスに適しています。このシステムは、フォトレジストとエッチングマスクの両方の役割を果たすユニークな光感受性有機化合物を利用しています。この組み合わせにより、ウェーハ表面に望ましくない残留物が形成されるのを防ぎながら、正確かつ均一なパターンとエッチングが可能になります。AOC-Mは、フォトレジストとエッチングマスクの2つのコンポーネントで構成されています。フォトレジストは、特定の波長の放射にさらされる前に基板に適用されます。放射線は、写真が硬くなり、乾燥したフィルムになります。このドライフィルムは、エッチングが基板の保護されていない部分にアクセスするのを防ぐマスクとして機能します。エッチマスクは、フォトレジストレイヤーの後に適用されます。これらは通常、エッチング溶液に反応する有機化合物で構成され、基質を有害なエッチング効果から保護します。場合によっては、エッチングマスクもエッチングプロセスを促進し、サイクルタイムを短縮してスループットを向上させることができます。フォトレジストとエッチングマスクが配置されたら、マスク/基板は特定のエッチング条件に従うことができます。エッチング剤は基板の保護されていない領域と反応し、フォトレジストとエッチングマスクは目的の領域を保護します。この格子状のエッチングとマスクのパターンは、パターン化された回路層をもたらします。フォトレジストとエッチングマスクの組み合わせにより、IZOVAC AOC-Mは、パターニング、選択的エッチング、プロセス制御など、さまざまなマイクロエレクトロニクス製造タスクに最適です。このシステムは、高い精度と再現性を提供し、デバイスレベルまたはコンポーネントレベルのプロセスに適しています。さらに、AOC-Mの堅牢性により、幅広いエッチング化学製品に適しています。最終的に、IZOVAC AOC-Mは、最新のマイクロエレクトロニクス製造に必要な厳格な技術を提供します。
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