中古 IVI Box Coater #9008297 を販売中

IVI Box Coaterは、シリコン、石英、ガラス、金属などのさまざまな基板を効果的にコーティングするために設計されたフォトレジストシステムです。それは手動および自動化されたコーティング操作のために適しています。このシステムは、コーターとコントロールユニットという2つの主要コンポーネントで構成されています。このコーターは、ガス密閉された加工窓などの必須フォトレジスト用部品を含む厚壁のステンレス製のチャンバーでできています。コントロールユニットは、反応圧力、反応温度、速度、シャッターなどのさまざまなプロセスを制御するボタン付きのタッチスクリーンモニターです。フォトレジストは、ガス密閉された供給ユニットを介して処理室に導入されます。Box Coaterは、特定の基板への成膜に低圧化学蒸着（LPCVD）プロセスを使用します。有機フォトレジスト材料は、光源を介して放射線にさらされたときに分解され、選択的に反応して基板表面上に薄膜を形成します。このプロセスは、反応圧力、反応温度、速度、シャッターなどのパラメータを正確に調整して監視できる制御ユニット画面を介して監視されます。コンピュータ支援設計（CAD）ソフトウェアの助けを借りて、フォトレジストパターンは正確かつ正確に設計することができます。露光時間やパターンの解像度などのパラメータも設定できます。オペレーターの安全を確保するため、コーターには安全ガードが取り付けられています。自動化された安全システムと機器の不正使用を防ぐための蓋インターロックスイッチを備えています。IVI Box Coaterは、フォトニクス、半導体、マイクロエレクトロニクスなど、さまざまな業界のラボアプリケーションに最適なツールです。それはいろいろな基質の有効で、信頼できるコーティングにすぐにそして容易に使用することができます。その高度な機能により、効率的で正確な成膜に最適です。