中古 HYPER 50AS #9247053 を販売中

HYPER 50ASは、半導体デバイスの微細加工、フォトマスク加工、光学記憶媒体リソグラフィ、ディスプレイなど、さまざまな用途に対応する高解像度感光装置です。これは、従来のフォトレジストよりも高い解像度を提供する高度なイメージング技術を使用しています。システムは、光源、フォトレジスト、マスクなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。光源はマスクを装着したアークランプで、光の強度が高い。光は固定ステージミラーでフォトレジストに集中します。フォトレジストは、正または負のフォトレジストと呼ばれる光感受性材料で構成されています。この材料は基質に適用され、光源にさらされます。露出後、フォトレジストが開発され、フォトレジストの露出および露出していない領域を選択的に除去します。透明基板上の金属の薄い層であるフォトマスクを基板の上に置き、光源にさらします。マスクの穴は、フォトレジストに開発されるパターンを定義します。フォトマスクは、パターンが基板に転送されるリソグラフィ用途に使用されます。50ASユニットには、リソグラフィをより簡単に、より信頼性の高いものにする多くの機能があります。マスクアライメントや正確なパターン配置に使用される高精度のステッピングモータを搭載しています。オートフォーカス機能を備えており、手動で画像をフォーカスする時間を削減します。このツールには自動露出制御もあり、目的の露出レベルが確実に達成されます。さらに、HYPER 50ASは生産性を向上させる多数の追加機能を提供しています。この資産には、リアルタイムの画像監視と統計データ収集を可能にするCCDカメラが内蔵されています。自動トレーシング機能により、手動パターニングが不要になり、正確さが保証されます。最後に、このモデルにはレイアウト編集、プロセス追跡、SCM （Equipment Configuration Management）など、いくつかのソフトウェアパッケージが組み込まれています。50ASは、微細加工アプリケーションに高解像度で信頼性の高い画像を提供します。その高度な機能と組み込まれたソフトウェアパッケージは、微細加工プロセスに優れた柔軟性と生産性を提供します。