中古 HONJIG HJ-W003D #9292547 を販売中

HONJIG HJ-W003Dは、半導体基板のアルカリ洗浄・ドライエッチング工程に対応したフォトレジスト装置です。フォトイニシエータ（PI）とフォトレジスト（PR）の2つのコンポーネントで構成されています。PIは感光反応を開始するために使用され、PRは処理中に保護コーティングとして機能します。HJ-W003Dシステムは、-40〜+150°Cの温度制御プロセス向けに設計されており、優れた均一性を備えています。高厚度の均一な高速硬化に特化しており、高密度パターニングが可能な300nmまでの加工が可能です。特徴穴からPRを除去し、レジストフリーのドライエッチングを可能にします。HONJIG HJ-W003Dフォトレジストユニットは、化学組成と特別に設計されたプロセスにより、信頼性が高く、堅牢です。シリコン、ゲルマニウム、ガリウムヒ素、アルミニウムガリウムヒ素、有機基板など、様々な半導体基板に使用できます。また、薄膜用途向けには、広いスペクトル、UV-A、発光ダイオード（LED）に対する優れた感度を備えています。また、パターンHJ-W003D高い解像力により、優れた画像性能を実現することができます。また、正確なパターン形成と優れた結合強度を可能にします。また、高度なMEMSおよびナノメートルスケールの機能を使用することもできます。また、HONJIG HJ-W003Dは、RoHS、 REACH、 Green Building Initiative （GBI）、最高の環境パフォーマンス指数（EPI）などの複数の業界標準および規制に準拠しています。それは複数の化学薬品および材料との優秀な両立性を提供します；そして低い残余率の優秀なライン決断を提供します。その構造は金属および有機フィルムへの非影響のコーティングを可能にします。全体的HJ-W003D、フォトレジストツールは、正確なパターニングとライン解像度を実現する高度なソリューションです。この資産は、信頼性が高く、堅牢で、業界標準に準拠しているため、幅広い化学および材料タイプとの互換性があります。