中古 HONGSU BOE #9328964 を販売中
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ID: 9328964
ウェーハサイズ: 5"
Photoresist removal system, 5"
DI Water:
Average flow LPM: 90
Maximum pressure: 2.5 kg/cm²
Temperature: RT
Resistance Ω: >18
Caliber inch: 11/2"
Gases:
CDA:
Maximum pressure: 7 kg/cm²
Minimum flow: 400
Pipe: SUS316
Connector: SWAG
Caliber inch: 1/2"
N2:
Maximum pressure: 7 kg/cm²
Minimum flow: 200
Pipe: SUS316
Connector: SWAG
Caliber inch: 3/8"
Filter: 1um
H2SO4:
Maximum flow: 5
PFA Pipe
Flare connector
Caliber: 1/2"
H2O2:
Maximum flow: 5
PFA Pipe
Flare connector
Caliber: 1/2"
Acid exhaust:
Maximum pumping volume CFM: 450
PP Pipe
Flange connector
Caliber inch: 8"
Power supply: Single-phase, 220 V 3-wire, 210 A, 46.2 kVA.
HONGSU BOEは、高精度マイクロエレクトロニクス機器の製造に使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、フリーフォームマイクロ電子環境で信頼性と安定性を提供する保護コーティングを内蔵したスピンオンフォトレジスト材料です。それはとりわけ現代装置設計の条件を満たすように設計されています。フォトレジスト材料は、マイクロエレクトロニクスデバイスの基板上にスピンコーティングされています。次に、敏感な材料が紫外線にさらされ、露出された材料の特性が選択的に変化します。所望のパターンが作成されると、過剰で未処理のフォトレジストが削除されます。これは、プラズマエッチング、ウェットケミカルエッチング、またはレーザー加工によって行うことができます。BOEは、ドライフィルムおよび/またはウェットフィルム技術を使用して、開発、エッチング、最終的に硬化のプロセス手順を含むが、これに限定されないフォトレジストプロセスのすべての側面に合わせて調整することができる完全に開発されたユニットです。結果として得られるデバイスは、フォトレジスト機器の劣化につながる水分や環境汚染に耐性があります。これはHONGSU BOE機械の保護コーティングの存在の結果です。BOEツールは、特にはるかに大きな安定性と信頼性を可能にするため、他のシステムよりも利点を提供します。フォトレジスト材料は、製造時に安定した状態を維持し、完全性を維持するように設計されているため、欠陥が少なく、デバイスの信頼性が向上します。また、フォトリソグラフィープロセスにおいては、感光層と集光光源が整列しているため、高精度なフォトリソグラフィープロセスが可能です。これにより、デバイスは毎回一貫した結果を提供できるようになります。最後に、HONGSU BOEモデルは、生産されたマイクロエレクトロニクスデバイスが最高品質であることを保証する、高度なツールと技術を使用しています。回転ウェーハステージ、真空装置、モニターなどの機器はすべてフォトリソグラフィーシステムの要件に合わせて調整され、フォトリソグラフィープロセスの効率的かつ正確なパフォーマンスを実現します。これにより、任意のアプリケーションに対してカスタマイズされた信頼性の高いプロセスが可能になり、製造プロセスを簡素化するのに役立ちます。結論として、BOEは信頼性と一貫した結果を提供する包括的なフォトレジストユニットです。マイクロエレクトロニクスデバイス用に特別に設計されており、精密駆動機と保護コーティングを備えています。このツールはまた、安定性と精度の高いレベルを提供し、使いやすく、維持することができます。全体として、HONGSU BOEは複雑で高精度なデバイス設計に最適なフォトレジスト資産です。
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