中古 HITACHI FT9500 #9394244 を販売中
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HITACHI FT9500は、現在入手可能な主要なフォトレジストシステムの1つです。シリコン基板に微細なパターンをエッチングする際に、高い選択性と精度を提供するように設計されています。この装置は、高度なビーム制御技術を使用して、基板の表面に正確な線幅と深さをエッチングします。構造パターン応答時間、ドリフト補償精度を特長としています。FT9500は、最高のレーザースループットと切断精度を保証するハイエンドレーザー技術を特長としています。このシステムは、電動ステージに搭載された高解像度カメラで構成されており、オペレータは基板を任意の正確な位置に移動することができます。これにより、エッチングされるパターンが正確に整列され、正確に複製されます。さらに精度を高めるため、オペレータがリアルタイムでビームパラメータを調整できる高度なソフトウェアを搭載した日立FT9500。FT9500はまた、エッチングプロセスの制御を簡素化するユーザーフレンドリーなインターフェイスを提供しています。これには、ビーム位置、速度、パワーをリアルタイムで表示する直感的なタッチスクリーンナビゲーションが含まれており、ユーザーはスピード、パワー、露出などのビームパラメータを調整してユニットの出力を変更できます。また、HITACHI FT9500は、エッチング操作の実装を可能にするプリセットジョブの配列を提供しています。これにより、エッチングパターンの操作と再現性が容易になります。FT9500のビーム偏向機械は、ガルバノメーターミラーを使用して、基板上のビームの軌道を微調整します。ビームシャッターを使用すると、オペレータはビームを連続的に使用して長時間の連続露出または短時間で高出力の部分露出を選択できます。さらに、HITACHI FT9500は、エッチング結果の安定性をさらに確保するために、オプションのオンボード温度制御ツールを提供しています。FT9500は信頼性が高く、使いやすいフォトレジストアセットです。その高度な技術とユーザーフレンドリーなインターフェースは、細かいパターンや回路の正確なエッチングに最適です。その高速で効率的な操作と高精度は、望ましい結果が一貫して達成されることを保証します。
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