中古 HEADWAY PWM101 #168411 を販売中

HEADWAY PWM101 Photoresist Equipmentは、フォトレジスト用途のダイレクトイメージング用に設計された紫外線露光システムです。このユニットには、フォトレジストウエハと連動して、高画質な画像表示と正確な位置決めを実現する「ダイレクトイメージング」顕微鏡が搭載されています。また、特許取得済みの2軸ミラーディフレクションツールを装備しており、フォトレジストウエハのターゲット領域への正確なアライメントを保証します。アセットの設計により、ユーザーは可変光源で露光強度を変化させることができ、フォトレジストプロセスを正確に制御することができます。このモデルには、フォトレジストのさまざまなスペクトル感度に適合する精密な二重連結石英光源が装備されています。この二重鎖の水晶光源に光強度の一貫した均等性および長期信頼性があります。また、光源は統合された安全シールドとガラスチャンバー内にしっかりと収納されており、機器を通して失われる光の量を減らします。また、フォトレジスト素材を正確に正しい領域に届けることができる独自のミラー偏向ユニットを搭載しています。機械は2 軸X -Y方向に動作するメカニカルドライブを使用しており、正しい領域にフォトレジスト材料を正確に配置できます。1。5 µmの分解能と0。01 µmの再現性により、フォトレジスト材料の位置決めは非常に正確で正確です。最後に、このツールはまた、簡単に資産のセットアップと操作を可能にするコンピュータ制御インターフェイスを持っています。ソフトウェアはモデルと統合され、望ましい結果を達成するために光源の強度、カメラの露出およびミラーの角度を調節するのに使用されています。これにより、手動での介入やハードウェアの交換を必要とせずに、フォトレジスト処理を素早く調整して微調整することができます。要約すると、PWM101 Photoresist Equipmentは、フォトレジストプロセスを正確かつ正確に制御するために設計された高度なシステムです。ユニットは、長期的な信頼性と汎用性だけでなく、調整可能な光源の強度、カメラの露出と鏡角を持っています。また、コンピュータ制御インターフェースを備えているため、使いやすく、カスタム設定を迅速かつ効率的に調整できます。