中古 HEADWAY PWM 32 #9153890 を販売中

製造業者
HEADWAY
モデル
PWM 32
ID: 9153890
Photo-resist spinner P/N: 9-22793.
HEADWAY PWM 32フォトレジスト装置は、集積回路のリソグラフィのための洗練されたツールです。半導体デバイスの製造に使用するために設計されています。このシステムは、可変周波数レーザーソースと、基板上のフォトレジスト材料のアプリケーション用のカスタムソフトウェアを組み合わせています。HEADWAY PWM32の可変周波数レーザーソースは、非常に広範囲の動作パラメータにわたって非常に高い電力と迅速な応答を提供します。これには、0〜8W@145mJ/cm2の幅広い波長と電力レベルが含まれます。レーザーソースには、近距離効果の抑制と高速パルスシーケンスプログラミングも備えています。特別に設計された光学系は、基板全体に均一なビームスポットサイズを作り出し、精密ビームスポット配置のための優れたビーム制御を提供します。この光学系は、異なるタイプの回路に最適な書き込み位置の非常に正確な位置決めを可能にします。PWM 32には、レーザー光源、フォトレジスト材料、基板の制御に使用できるカスタムソフトウェアもあります。このソフトウェアは、ユーザーにシンプルで直感的なインターフェイスを提供します。それはレーザー力および脈拍率の完全な制御、また特定のパターンを選び、救う機能を可能にします。ソフトウェアはまた、フォトレジストの厚さを正確に測定し、そのアプリケーションを制御するために使用することができます。PWM32の革新的な設計は、正確なフォトレジストのアプリケーション制御のための自己キャリブレーションユニットも提供します。セルフキャリブレーションマシンは、パラメータの変化を検出してそれに応じて調整することができ、基板全体にわたる正確で一貫したフォトレジストアプリケーションを保証します。全体として、HEADWAY PWM 32フォトレジストツールは、集積回路のリソグラフィのための高度で信頼性が高く、非常に汎用性の高いツールです。高感度でも優れた精度と制御を提供し、自己キャリブレーション資産により、フォトレジスト用途向けの高精度で信頼性の高いモデルとなっています。
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