中古 HEADWAY LSC 510 #123052 を販売中

HEADWAY LSC 510は、プロトタイプ開発と生産のためのリソグラフィープロセス用に設計された商用フォトレジスト機器です。このシステムは、デリバリーユニットとリソグラフィーユニットの2つの主要コンポーネントで構成され、3つのLaser Scanning Controller （LSC）を搭載しています。デリバリーユニットには、フォトレジストプロセスにエネルギーを供給するレーザダイオードユニットがあります。希望のパターンをウェーハに転送するのは、フォトマスクのパターンから始まります。ポリメチルメタクリレート（PMMA）は、マスクの前面に適用され、次にクロム白金または別の金属の層が続きます。マスクは基板の上に置かれ、レーザーダイオードからの紫外線にさらされます。これにより、最初にフォトレジストで覆われた基板が変化し、レーザダイオードが到達できた領域だけが露出します。基板へのフォトマスクパターンの転送は、リソグラフィーユニットを介して達成されます。このユニットには、露出ステージ、スキャンユニット、ビーム発生器の3つのコンポーネントが含まれています。露出ステージには、ウェーハを保持する高精度の電動X-yステージと、露出中のウェーハの角度を制御するチルトマシンが含まれています。スキャンツールは、フォトマスク上の定義された方向にレーザーダイオードを前後に移動します。ビーム発電機はレーザーおよびレーザーのダイオードの強度を担当します。リソグラフィーユニットは、3つのレーザースキャニングコントローラ（LSC）によって制御され、フォトレジストプロセスの成功に必要な位置精度とコンピューター制御を提供します。レーザーの高精度座標を制御し、フォトマスクパターンを監視し、必要な精度でレーザダイオードを配置します。LSC 510は、ラピッドプロトタイピングと量産に最適です。その精度とコンパクトなデザインは、多くの種類の環境やプロセスに適しています。それはリソグラフィーのプロジェクトのための信頼でき、費用効果が大きい解決であり、精密な結果を提供します。