中古 HEADWAY LM22-PWM-103 #9181822 を販売中

HEADWAY LM22-PWM-103は、半導体製造およびその他のマイクロエレクトロニクス加工アプリケーション向けに設計されたフォトレジスト機器です。200mmから300mmまでのプロセスサイズに対応できるため、多種多様な作業に最適です。このシステムは、高度な4チャンネルのPWM光源を備えており、最大250msの調整可能な露光時間を備えています。フィルム処理の均一性と滑らかさを向上させ、収率を最適化するために膜厚やその他のパラメータを正確に制御することができます。さらに、高度な自動冷却装置を搭載し、高生産性環境での生産性を高めるために光化学反応時間を短縮します。このツールは、独自のアダプティブ光学プラットフォームを内蔵しており、自由形状の光学系、円筒形レンズ、楕円ミラーなど、さまざまな光学構成を使用して望ましい画像結果を得ることができます。これにより、さまざまなサイズのウェーハの正確な画像化と位置決めが可能になり、処理速度を高速化できます。安全のために、アセットは高度なマルチチャネル統合制御モデルを備えており、温度、圧力、処理環境のタイミングなどのさまざまなパラメータを制御できます。これは、一貫したフィルム加工条件を維持し、汚染のリスクを防ぐのに役立ちます。また、直感的なグラフィックユーザーインターフェイスを備えており、ユーザーはシステムのパラメータを表示および制御することができます。この操作が容易なユニットは、特定のプロセスのためのカスタムメイドのレシピを作成することを可能にすることにより、より高い柔軟性を可能にします。全体的LM22-PWM-103、フォトレジストマシンは、市場で利用可能な最も先進的で汎用性の高いシステムの1つです。その統合された機能と強力なコンポーネントは、さまざまなアプリケーションに対応するフォトレジストツールを必要とするユーザーに最適です。その広範な機能により、最適な結果と歩留まりを提供することができます。