中古 HEADWAY EC 102 #9123998 を販売中

HEADWAY EC 102は、マイクロリソグラフィー光学印刷アプリケーションにおける高アスペクト比トレンチからの生産歩留まりを向上させるように設計された、シングルコーティング、負のフォトレジスト装置です。フォトレジストシステムは、正のフォトレジストであるEC 102と、高解像度、ローラインエッジ粗度（LER）、およびライン幅の制御の改善を提供するために協力する開発化学で構成されています。ポジティブなフォトレジストであるHEADWAY EC 102は、長鎖ポリマー、光酸発電機、および強化された平面化を提供する添加剤アマルガメーションで構成されています。長鎖ポリマー構造により、熱硬化系よりも解像度が高く、ラインエッジ粗度（LER）が向上します。一方、光酸発生器と添加アマルガメーションにより、エッチング選択率が高くなり、平面化が促進されます。EC 102フォトレジストユニットの化学的特性は、エッチングの選択性、長期安定性、各種基板への優れた接着性を提供するために最適化されています。この機械は低温ベーキング要件を備えているため、加工中に高温の影響を受けません。さらに、フォトレジストは、バックサイドのアッシングおよびリフトオフ処理中に最大300°Cに耐えることができます。HEADWAY EC 102フォトレジストツールは、生産ラインに高いスルーパットを提供するように設計されています。その低温ベーキング要件により、基板の統合とプリコート処理を高速化し、サイクル時間を短縮できます。さらに、ウェーハクリーナー、ドライヤー、露出システムなど、さまざまな標準的な処理装置との互換性により、低コストで高性能を保証します。さらに、EC 102フォトレジストアセットは信頼性が高いです。高熱・加水分解性・酸化安定性を特徴とし、幅広い処理温度・環境での使用が可能です。フォトレジストモデルも使いやすいです。その堅牢な製剤は、あらゆる温度、湿度、露出条件に適しています。要約すると、HEADWAY EC 102は、優れた解像度、ライン端の粗さ（LER）、ライン幅の制御を提供するように設計された、シングルコーティング、負のフォトレジスト機器です。低温ベーキング、高エッチング選択性、長期安定性、さまざまな標準的な処理装置との互換性により、マイクロリソグラフィー光学印刷アプリケーションに最適です。