中古 HEADWAY EC 101 #114662 を販売中

HEADWAY EC 101は、マイクロエレクトロニクス製造プロセス用に設計されたフォトレジスト機器です。これは、リソグラフィおよびエッチング工程中に機能化された基板の保護のために開発された水溶性の有機硫黄高分子フォトレジスト材料です。HEADWAYのEC101システムは2つの部品から成っています-抵抗の液体および開発者の液体。レジスト液体には、基板に適用される高分子フォトレジスト材料が含まれています。紫外線にさらされると、高分子材料は交差し、保護層として機能します。リソグラフィまたはエッチング処理が完了すると、ポリマーフォトレジスト材料を溶解するために開発者の液体が使用されます。このプロセスは「開発」と呼ばれ、リソグラフィまたはエッチングが行われた後に基板に残っていた可能性のある不要なレジスト材料を除去するために必要です。EC 101ユニットの利点は、低コスト、迅速な処理時間、高解像度の結果などです。さらに、レジスト液体と開発者液体は、高度なリソグラフィ、ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）、ケミカルメカニカルプランアライゼーション（CMP）など、幅広いリソグラフィおよびエッチング技術と互換性があります。他のフォトレジストシステムと比較してEC101コストが低いため、半導体チップメーカーにとって非常に魅力的な選択肢です。また、高解像度の結果により、メーカーはチップ上でより複雑なデザインを作成できるため、高度なリソグラフィーアプリケーションにも信頼性の高い選択肢です。さらに、HEADWAY EC 101マシンはケミカルスクリーンに対応しており、OEMはカスタムソリューションの開発に伴うコストを削減できます。さらに、迅速な処理時間により、高いスループットが可能になり、製造業者はリソースをより効率的に処理することができます。要約すると、HEADWAY EC101ツールは、あらゆるタイプの半導体チップ製造に最適であり、優れたコスト削減と優れた解像度の結果を提供します。さらに、さまざまなリソグラフィおよびエッチング技術との幅広い互換性により、あらゆる種類のニーズに信頼性が高く適応可能です。