中古 HEADWAY EC 101 #114660 を販売中

HEADWAY EC 101は、半導体製造に使用されるフォトレジスト機器です。最大300RPMのスピンを持つ感光剤を組み込んだスピンコーティングシステムの一種で、均一な厚さでウェーハ表面に塗布することができます。このユニットは、チップや製造用の他の部品に適切な回路をパターン化するために使用できます。HEADWAY EC101は、オペレータの積み込みと補充のためのディスペンサーステーション、スピンコーティングモジュール、露出後のベーキングステーションを備えたシングルサイドマシンです。このツールは、オペレータの介入を最小限に抑えて簡単に維持できるように設計されており、正確なフロー制御、低放射線曝露、および高い歩留まりを備えています。スピンコーティングプロセスは、デュアルノズルのアセット設計によりさらに強化されており、スピンコーティング時間を独立して制御することができ、高品質のウェーハパターニング結果に不可欠です。このモデルには、ウェーハ上の残留液体を減らし、汚染を除去するのに役立つ、混乱や品質問題の可能性を低減するための統合スピンリンスおよびブロウオフ装置も含まれています。さらに、ガスアシスト付きポスト露出ベークステーションを内蔵することで、ウェーハ上で生成されるパターンの鮮明さと品質を向上させることができます。EC 101は、既存のシングルサイドフォトレジストシステムと互換性があるように設計されており、過剰な真空保護やクーラント損失検出など、多くの安全機能を備えています。また、人間の干渉を最小限に抑えてシステムを動作させるために、人間工学と使いやすさを考慮して設計されています。このユニットは、小規模半導体製造および大規模半導体製造の両方で使用するために設計されており、あらゆる種類のチップ製造に最適です。