中古 HANKISON PR250 #9256412 を販売中

HANKISON PR250フォトレジスト装置は、あらゆる基板上で高品質のフォトリソグラフィックパターンを製造するために使用される業界をリードするトリプルスタック蒸発器です。このシステムは、半導体、医療機器、MEMSプロジェクトなど、幅広い用途向けに設計されています。完全に自動化されたPC制御プロセスを備えており、優れた柔軟性と精度を提供します。PR250には、基板の調整可能なテーブル、さまざまな速度設定を備えたスピンモジュール、および内蔵のオーバーヘッドソースとして機能するフォトレジストプロセス専用の特別なセクションが含まれています。このユニットは、3つの独立した制御システムを組み合わせて使用し、ガスの流れ、温度レベル、露出時間間隔を正確に調整できます。一貫した、高性能のフォトレジストの適用範囲を保障するためには、機械は露出のプロフィールの完全な制御を提供するE-DOSEの技術を提供します。E-DOSE技術は、調整可能で反復可能な変換因子を提供し、ユーザーが望む露出率を正確に再現することができます。その高速冷却時間は、放射線誘発の欠陥のリスクを低減します。このツールはまた、優れた生産歩留まりのための0-200m/min可変速度制御を提供します。このアセットはほこりがなく、部品同士の接触を避けるための自動センサーを備えており、ほこりの汚れを防ぎます。HANKISON PR250は、フォトリソグラフィック特性に加えて、インテルティングモデルを備えており、チャンバー内に窒素雰囲気を提供します。この装置は理想的な条件を作成する完全な粒子および酸素制御を保障します