中古 GRO-UP GSPC-6 / GCP-713B #171530 を販売中

GRO-UP GSPC-6/ GCP-713Bフォトレジスト装置は、フォトレジスト材料の調製、コーティング、露出のための包括的なシステムです。このユニットは、電子中間膜（EIF）基板上で高分解能回路パターンを実行するために設計されています。この機械の主要なコンポーネントには、計量ツール、オーブン、コーター、露出源があります。計量アセットは、レシピのカスタマイズを可能にするために、一度に最大4つのベースコンポーネントを正確に計測およびブレンドします。精密メータリングシリンダは、調整可能なレベル制御とダイレクトドライブサーボを備えており、低レベルでも精密で再現性のあるメータリングを保証します。計測されたフォトレジスト材料は、コーティングの準備ができています。オーブンはフォトレジスト材料をコーティングおよび加工に適した温度に加熱するために使用されます。加熱は2段階で行うことができ、材料の前乾燥だけでなく、コーティングの後硬化の両方を可能にします。また、複数の基板を同時にバッチ処理することで、モデルのスループットを向上させることができます。コーターは、フォトレジスト材料の均一で一貫したコーティングを基板に適用します。デポジットは自動的に制御され、厚さ、フィルム組成、表面組成、ヘビ角度、ねじれ、方向などのパラメータについて監視されます。ステッパーとモーションコントロール装置は、圧力と流れを自動的に調整して、一貫して正確で一貫した結果を達成します。露光システムは、超紫色光源、反射器、鏡で構成されています。光源は、基板表面全体を飽和させる強烈な紫外線を供給します。これにより、後処理時に基板の露出した部分と露出していない部分の間の自己アライメントが可能になります。光源はまた、ミクロンレベルのファインパターンに制御された低消費電力の露出を提供するために調整可能です。GSPC-6/ GCP-713Bフォトレジストユニットは、高度な回路パターニングのニーズに最適なソリューションです。正確で一貫したパフォーマンス、高いスループット、一貫した結果を提供します。この機械はEIFのフォトレジストの処理のために適し、精密および高分解能回路パターン化を要求する適用のために適しています。高度な計量、オーブン、コーター、露出ツールは、高度なフォトレジスト材料の効率的な処理のための機器と機能の最高の組み合わせを提供します。