中古 GALILEO 1650 #9152142 を販売中

ガリレオ1650は、SUSS MicroTec社製の精密フォトレジスト装置です。これは、コスト効率の高いフォトリソグラフィ技術のための最先端のリソグラフィーシステムを提供しています。半導体、MEMSデバイス、バイオチップ、光学部品の製造用ウェハの作成などの研究開発用に設計されています。1650マシンは、振動のないスキャンと自動レベリングのための高度なウェハステージを備えています。高度な干渉計ベースのツールを使用して、最大0。2 µmおよび0。22°の正確な位置決め精度を実現します。アセットには、最大200ステップ/秒の高いステッパー速度と、450 mm x 450 mmの広いフィールドサイズを備えています。GALILEO 1650モデルには、スポットイメージング用の高解像度デジタルカメラ（6メガピクセル）を搭載し、ウェーハの正確なアライメントと登録が可能です。画像処理装置は、ウェーハ表面をよりよく見るためにビデオを撮影することもできます。このデジタルイメージングは、365nm、 436nm、 2000nm、 6x12 mm、 8x12 mmなどのさまざまなフィルムフォーマットをサポートしています。システムのユーザーフレンドリーな制御のための完全なソフトウェアスイートが含まれています。ソフトウェアスイートには、パターン開発、プロセス定義、ウェハローディングとアンロード、露出、自動検査、メンテナンスのためのプログラムが含まれています。直感的なユーザーインターフェイスは、あらゆるレベルのユーザーに使いやすい環境を提供します。1650ユニットには高効率アブレーションマシンを搭載し、生産性と歩留まりを向上させます。アブレーションツールは、最適な結果を保証するために、統合された温度および放射制御機能を備えています。結論として、GALILEO 1650フォトレジストアセットは、ウェーハとチップを作成するための費用対効果の高い信頼性の高いソリューションを提供します。精密な位置決め精度、優れた画像処理能力、高効率アブレーション装置を搭載しています。ユーザーフレンドリーなソフトウェアと直感的なユーザーインターフェイスにより、システムはさまざまなユースケースに最適です。