中古 FSI / YIELDUP Omega 4000 #180522 を販売中
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ID: 180522
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
Megasonic wafer cleaning system, 8"
(2) Stand alone tanks
Automatic loading
Process: Marangoni and SC1
Set up to inject SCi
NHOH and H202 Mix typical clean solution
(50) Wafer boats
1" Inlet-35-60PSI @10gpm
Nitrogen: 75-85 PSI
Exhaust: >350cfm
Drain 30gpm, 2" or larger
Operating temperature: 70 Degree, ±3 degrees
Operating humidity: 40, ±6%RH
Megasonic unit not included
Recirculated tank only
Currently de-installed
1997 vintage.
FSI/YIELDUP Omega 4000は、プリント基板やその他の材料からデバイスやコンポーネントを作成するために使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、光を使用してパターンをさまざまな基板にエッチングし、正と負の両方のフォトレジストに使用できます。FSI Omega 4000は、高度な光学アライメントとコンピュータ制御オートメーションを使用しているため、高精度プロジェクトに最適です。ユニットは光源で構成されており、様々なタイプのフォトレジストを使用することができます。それは選択的に基質を露出するのに異なった光源を使用します。これには、細かいディテールをキャプチャする発光ダイオード(LED)と、高解像度のディテールをキャプチャするレーザーフラックス光学系が含まれます。さらに、完成品を正確に画像化して検査するために、高度なカメラマシンを採用しています。YIELDUP Omega 4000は、負と正の両方のフォトレジストプロセスをサポートしています。ネガティブフォトレジストは光にさらされたパターンを保持するために働き、フォトレジストの開発後にネガティブフォトレジストのエッチングが適用されます。ポジティブなフォトレジストでは、光の露出を通してパターンがエッチングされ、開発後はパターンが保存されます。これにより、ユーザーは細部を保持し、デバイスの製造をより良く制御することができます。このツールは、最大4ミクロンの解像度と最大3ミリメートルの厚さを達成することができます。また、その高度な光学系は、広い領域にわたって+/-0。03%の歪みを提供し、小さな領域にも+/-0。005%の歪みを提供することができます。オメガ4000は、幅広いアプリケーションに高精度の結果を提供する高度なフォトレジスト資産です。高解像度、高精度、再現性を要求されるプロジェクトに最適です。これは、市場で最も先進的なフォトレジストシステムの1つであることが証明されています。
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